檢索結果:共2筆資料 檢索策略: "Kuo-Shong-Wang".ecommittee (精準) and ckeyword.raw="化學機械拋光"
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本研究先建立室溫下不同體積濃度之無花紋研磨墊化學機械拋光矽晶圓的研磨移除深度理論模擬模式。我們將矽晶圓浸泡在常溫下不同體積濃度研磨液後,接著進行原子力顯微鏡實驗,計算得出浸泡室溫不同體積濃度…
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本文旨在應用灰色理論、田口實驗方法與製程統計分析等之理論於記憶體模組除料製程之品質改善與化學機械拋光參數分析。 本文首先使用變異數分析與灰關聯理論分析,探討田口實驗計劃法之CMP實驗數據:如拋光正向…